技术编号:3448892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。—种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置[0001]本实用新型涉及一种吸附柱并网装置,特别是一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,属于多晶硅化工。背景技术[0002]国内外的多晶硅生产主要采用“改良西门子法”,该方法中的⑶I工艺是比较成熟的多晶硅生产尾气回收工艺,其工艺步骤大概为尾气先经过冷凝将氯硅烷、氯化氢和氢气分离开后,液态的氯硅烷送精馏工序,气态的氯化氢、氢气经过吸收塔、解析塔被分离开,其中的氯化氢送至合成工序,氢气再经吸附柱除去残余的氯硅烷和氯化氢后继...
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