技术编号：3449105
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及酸洗用清泡池，适用于多晶硅原料的酸洗工艺的清泡系统。背景技术在进行CZ直拉法或者浇筑多晶法生产的多晶硅纯度最低要求>5N，因此必须，在进行使用前必须对原料进行酸洗，对多晶硅原料表面受到的沾污，或者其他工艺造成的杂质进行清除避免原料本身的杂质造成晶体生长失败或者品质不良。一般的清洁工艺都是用酸或者碱对原料表面进行处理，清除硅料表面IO-IOOum左右的厚度层后，放入高纯水内进行清泡，稀释酸碱残留物质，然后在纯水内进行高纯水超声波清洁，最后...
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