技术编号：3449334
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及烟气加热多晶硅氢化反应器进料系统，此系统用燃料燃烧烟气预热、汽化、加热氢化反应器所需的物料——STC、h2。属节能降耗技术。背景技术目前国内厂商主流采用改良西门子法，生产过程中回产生大量副产品四氯化硅(STC)0目前国内大部分多晶硅生产厂为了降低能耗，减少成本选择冷氢化技术将四氯化硅氢化为三氯氢硅(TCS)。冷氢化在550°C的环境下进行反应，能耗相对较低，转化率较高，而且冷氢化设备一次投入成本相对低。冷氢化除单位能耗低之外，作为多晶硅生长所...
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