技术编号:3449368
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及三氟化硼-11 (11BF3)电子特气的生产装置及方法,技术适用于电子、医药等行业,为之提供高丰度、高纯度需要的11BF3的生产工艺。背景技术三氟化硼-11 (11BF3)气体在工业生产上的有很多方面的应用,可以用于电子工业和光纤工业,可作为制备光纤预制件的原料,是硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。在半导体制造过程中11BF3是重要的离子注入气,同时作为硼掺杂剂用于硅离子布植方面,生产出的芯片具有高集成、高密度特点,且体积小、性能优越。...
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