技术编号:3449523
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅制备,更具体地,本实用新型涉及一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的系统。背景技术我国现阶段多晶硅项目工艺技术85%以上都属于西门子工艺技术,该工艺技术中,一个很重要的环节是四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅。在改良西门子法生产多晶硅的过程中,每生产I吨多晶硅有将近20t的四氯化硅副产物产生,一个2000吨多晶硅工厂每年则产生40000多吨四氯化硅。常温下四氯化硅为液态,不宜储运。同时四氯化硅的市场容量有限,这都造成了四氯化硅处理困难的局面。随着多晶...
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