技术编号:3449735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅生产领域,具体涉及改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收领域。背景技术在改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收系统,低压冷凝区主要是采用逐级冷却的方式进行冷却,同时尾气回收系统中液态氯化氢的采用电加热器进行加热汽化后输送至三氯氢硅合成使用,氢化尾气、还原尾气回收系统高压解析区的解析塔塔釜排出的高温贫液氯硅烷通过换热器水冷后,再用泵进行输送。合成尾气回收系统中高压解析区塔釜再沸器使用蒸汽进行加热,具体流程如下氢化尾气或...
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