技术编号：3449940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种在三氯氢硅生产中使用的金属硅粉加料装置，属于三氯氢娃生产设备。背景技术三氯氢硅是生产多晶硅的重要原料，随着多晶硅在现代科技、国防、工业等领域的广泛应用，三氯氢硅的生产也得到了快速发展，提高产品质量、降低成本消耗、扩大生产能力成为各个生产厂家竞相追逐的目标。但在生产中发现，由于原料金属硅粉的硬度非常高，仅次于金刚石，导致金属硅粉加料装置磨损严重，经常损坏，直接影响了生产，增加了成本。目前采用的加料方法是用水环真空泵抽取或管链输送机输送。采用...
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