技术编号:3450211
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅化工领域,特别是涉及一种新型三氯氢硅合成炉。背景技术目前三氯氢硅合成生产系统均采用沸腾炉方式进行固体与气体进行反应,氯化氢气体与硅粉固体经炉子反应段完成反应后经扩大段进入下一级冷却降温、沉降除尘、旋风除尘及布袋除尘工序,除完尘的干净气体进入冷凝器即得到三氯氢硅粗品。例如申请号为201020013212.0,公开号为201648006U的中国专利“一种三氯氢硅合成炉”,公开了一种三氯氢硅合成炉,包括炉体,所述炉体包括上封头、中间壳体和下封头,...
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