技术编号:3450595
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及反应精馏,特别提出一种利用反应精馏技术回收处理二氯二氢硅废料的方法及设备。背景技术目前我国多晶硅企业大部分采用改良西门子法生产多晶硅,中间化合物三氯氢硅(SiHCl3, TCS)在化学气相沉积(CVD)反应器内沉积生成多晶硅,同时产生大量的四氯化硅(SiCl4, STC)和少量的二氯二氢硅(SiH2Cl2, DCS),其中DCS易燃易爆十分危险,而且会在提纯过程中富集,至今没有很好的处理方法。传统工艺中使用碱中和法将其当作废物处理掉,既增加处理难...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。