技术编号:3451708
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种用于纯化三氯氢硅的设备,所述设备为用于对以氯氢化合成反应产物的形式提供的三氯氢硅进行第一精馏纯化处理,以便获得经过纯化的三氯氢硅和第一精馏残液的第一精馏纯化装置,其中,所述第一精馏纯化装置包括串联的第一精馏塔、第二精馏塔和第三精馏塔,每个精馏塔均沿所述精馏塔的轴向方向自下而上分别设置进料口和出料口。利用该设备能够有效地纯化三氯氢硅,并且该设备涉及的工艺简单、安全、节能环保、成本低,且经过纯化的三氯氢硅纯度高,能够有效用于多晶硅的生产,而...
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