技术编号:3451779
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅领域,具体涉及一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,包括流化床反应器、旋风分离器、细硅颗粒晶种罐和硅颗粒加料罐;流化床反应器包括流化床反应器筒体和流化床扩大段;流化床反应器筒体底部设有产品出料口,下部设有硅源气体进料口和稀释气体进气口,流化床反应器筒体外部包覆有反应器加热装置;流化床扩大段顶部设有反应尾气出口;细硅颗粒晶种罐顶部设有硅晶种加料口和尾气出口;流化床扩大段的底部与流化床反应器筒体顶部固连,且流化床扩大段的直径大于流化床反应器筒体的...
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