技术编号：3451999
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种强制循环式多晶硅还原炉钟罩，该钟罩，包括有耐热风扇叶⑴、空心传动轴⑵、导流筒⑶、导流筒冷却水进口管⑷、导流筒冷却水出口管⑸、导流筒与钟罩间环形出口⑹、还原炉钟罩⑺和固定筋管⑻；其中，风扇叶⑴与空心传动轴⑵刚性连接；空心传动轴⑵由电动机带动；导流筒与钟罩靠筋管⑻固联；风扇叶的角度30~60°；风扇叶数量不低于两叶。该还原炉钟罩可降低多晶硅棒生长过程中硅棒表面气体界面层过厚、改善还原炉内气场和温度场的均匀性的强制循环装置。专利说明一种强制循环式多晶硅还原炉...
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