技术编号:3452016
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶硅定向凝固领域,具体涉及一种分瓣式石墨护板。包括石墨底托和石墨护板,石墨底托上表面开设有凹槽,石墨护板位于凹槽内,石墨护板沿圆周方向等分成石墨片,相邻石墨片间有缝隙,缝隙处设置有防溢流棒。本实用新型将之前整体式的坩埚壁护板改造成分体式坩埚壁护板,每一块石墨片在自身内部产生感应电流,石墨片之间的电流被缝隙隔断,整体的涡流效应减弱,热生成量随之有效的降低,杂质不会再反向凝固。在定向凝固过程中,石英坩埚侧壁及底部需要加装石墨护板,是防止生产过程...
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