技术编号:3452152
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种六甲基二硅氮烷生产中氮气保护装置,包括空气净化系统和制氮气系统,空气净化系统包括空压机、空气缓冲罐、冷干机、空气储罐,空气缓冲罐与冷干机之间设有第一过滤器,制氮气系统包括第一吸附塔和第二吸附塔,制氮气系统连接有氮气储罐,制氮气系统与氮气储罐之间设有第一控温装置,第一控温装置上设有第一温度传感器,制氮气系统外侧设有信息处理模块,信息处理模块上设有信息接收器和信息输出器,第一温度传感器连接信息接收器,信息输出器连接第一控温装置,氮气储罐连接...
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