技术编号：3453335
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。，涉及多晶硅生产，通过硅粉反应步骤、换热、汽化步骤、电加热步骤、气固分离步骤、淋洗、除杂质步骤、冷媒冷冻步骤和气液分离步骤，达到去除杂质、氢气提纯的目的；本发明由于冷热能量的充分交换，使物料自身能量得到了充分利用，较大幅度减少了外供能量消耗，且通过提前对系统物料过滤和淋洗，减轻了提纯塔管路堵塞问题。专利说明[0001]本发明属于多晶硅生产，具体地说本发明涉及。背景技术[0002]公知 的，冷氢化是多晶硅生产过程中的重要组成部分，冷氢化主要是为了处理并回收利...
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