技术编号:3454137
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种净化高纯氩气的装置,属气体净化。该装置包括,由螺旋形电热丝、热电偶、控温仪和绝热材料组成的电阻炉,置于电阻炉内且装满海绵钛的石英玻璃管,密封并固定石英玻璃管两端的接头,起冷却接头作用的冷水机;进气接头连接高纯氩气气源,出气接头连接可调节气体流速的流量计,再连接用气设备;电阻炉升至目标温度并保持一段时间后,打开气瓶并调节流量计,使高纯氩气沿图中箭头方向流过加热的海绵钛而得到净化。本发明结构简单、安装方便、易于操作,能有效降低高纯氩气中的杂质含量...
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