技术编号:3454237
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了制备三氯氢硅的装置,包括一精馏塔,一设置于精馏塔塔上的四氯化硅出料管和四氯化硅出料管,一通过四氯化硅出料管连接的固化床反应器,所述固化床反应器上还连接一二氯二氢硅进料管,还包括一设置有静态混合器的混合管,该混合管将所述四氯化硅出料管和二氯二氢硅进料管竞合;所述固化床反应器的出料口通过合成气管连接精馏塔的上部,还包括一位于精馏塔中部位置的三氯氢硅排出管,一位于精馏塔顶端位置的杂质流出管,所述杂质流出管连接一精馏塔回流罐,利用上述两个装置将改良西门...
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