技术编号:3454967
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高纯度材料加热处理,尤其适用于薄膜生长的加热系统。本发明的内容是提供一种在高真空条件下可用作加热电阻的材料。该种材料是通过等静压法制作的热解石墨,该石墨可以承受800℃以上的高温。在高温下,该材料的出气速率低,完全可以保证腔室对高真空的要求。另外,该材料具有硬而不脆、密度较小的特点,使其非常易于加工和安装。此外,如果将常规的承载衬底用的金属载具也替换为该石墨,则可以利用石墨的高的导热性,最大程度的实现载具及载具之上的衬底的温度的均匀性,从而有利于...
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