技术编号：3455130
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种，氯化氢气体喷出用构件（1)在使氯化氢气体与金属硅粉末发生反应来生成三氯硅烷的三氯硅烷制造用反应装置中使用，具有朝向长度方向延伸的轴部（2)、和沿与该轴部（2)的上述长度方向交叉的方向延伸的头部（3)，轴部（2)上设有朝向上述长度方向延伸的供给孔（4)，头部（3)上形成有多个喷出孔（5)，喷出孔（5)与供给孔（4)连通，并且沿与供给孔（4)的延伸方向交叉的方向延伸而在头部（3)外表面开口。专利说明 [0001] 本发明涉及一种氯化氢气体...
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