技术编号:3455358
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种IGZO靶材专用氧化镓粉末的制备方法,该方法是通过氧化喷嘴实现金属镓的氧化和粉碎,所述的氧化喷嘴中央设有圆形金属液孔,圆形金属液孔四周均匀分布有4个气流孔,进行金属镓的氧化和粉碎时,先将金属镓加热后从圆形金属液孔流出,同时,从所述的4个气流孔中同时加压喷出热空气,液态金属镓在气流交汇处被气流冲击、剪切,同时进行氧化反应,形成超细氧化镓粉末;该制备方法操作简单、低成本、不污染环境;制备的氧化镓粉末纯度高、粒径小且分布均匀,满足IGZO靶材的制...
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