技术编号:3456503
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,设备包括箱体、恒温退火腔、降温生长腔、冷却腔,箱体分隔成恒温退火腔、降温生长腔、冷却腔,恒温退火腔、降温生长腔内部均设有进气管、混气室、反应腔体,进气管伸入混气室内,混气室与反应腔体连通,冷却腔内设有冷却装置,箱体内部还设有送料装置、冷气管,送料装置穿过恒温退火腔和降温生长腔的反应腔体、冷却装置,恒温退火腔、降温生长腔、冷却腔设有压力释放管。步骤包括先将金属基底送入恒温退火腔中进行退火;然后将金属基底送入降温生长腔进行反应生长石墨烯;最后将石墨...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。