技术编号:3457220
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种提纯四氯化硅的系统,包括依次连接的用于将工业级四氯化硅汽化的汽化器;供氯气和汽化后的工业级四氯化硅反应的固定床反应器;用于将从固定床反应器输出的气相产物冷凝并分离获得液化的四氯化硅粗品的气液分离器;以及对液化的四氯化硅粗品进行吸附或精馏纯化的活性氧化铝吸附柱、第一级精馏塔、活性硅胶吸附柱、第二级精馏塔。本实用新型由固定床反应器以及胶体设置的吸附柱和精馏塔组成,利用固定床反应器可以让粗四氯化硅中的含氢化合物与氯气发生反应生成氯化氢而除去,...
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