技术编号:3457497
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置,涉及混合气体分离净化处理装置。本实用新型解决现有技术存在SF6和N2混合气体无法进行分离,造成SF6气体不能进行循环利用的问题。装置由混合气体入口管、缓冲罐、干燥器、压力传感器、网布式过滤器、压缩机、风冷器、热交换器、制冷机组、精馏塔、提纯罐、碱液槽、真空泵、液态灌装机及气体出口管组成。本实用新型用于六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理。专利说明一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置 [0001 ] 本实...
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