技术编号:3457682
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种高压氦气和氩气纯化装置,涉及气体纯化装置领域,为解决不同气源之间不能切换以及纯化后气体的杂质含量不能确保的问题而设计。本装置包括氩气纯化器、氦气纯化器以及多个阀门和管道,在设置有氩气纯化器的第一管道上设有若干截止阀,在设置有氦气纯化器的第二管道上设有若干截止阀,并在第一管道入口处设有与之并联的第三管道,在第二管道入口处设有与之并联的第四管道,所述第三管道和第四管道上均设有截止阀。本实用新型可实现不同气源之间的切换,正常工作前减少绝大部分...
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