技术编号:3457709
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种废硅粉无害处理装置,属于半导体产业,废硅粉加料器连接氢气发生器,进水管连通到氢气发生器上,氢气发生器上设置有搅拌机,氢气发生器顶部通过设置有气体流量计的氢气管道连接氢气过滤器,氢气过滤器下游通过氢气管道连接有氢气压缩机,氢气压缩机通过氢气管道连接到氢气储罐。该废硅粉无害处理装置利用废硅粉的处理,一方面制造了氢气能源,另一方面废硅粉的处理经过循环水的上下游连接设计,能够保持水相的循环利用,以及酸液的回收重利用,从而得到精提废硅粉的化学副产物...
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