技术编号：3458212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，属于电子化学品生产。背景技术在电子工业中，高纯氨用作化学气相沉积氮化硅的氮源。在化工、科研等领域用作标准气，配制标准混合气、物性测定、催化剂评价等。高纯氨作为电子工业中氮化膜的成膜气体，已经在半导体、液晶面板、氮化镓系LED生产中得到广泛应用，在多晶硅太阳能电池领域的应用也在不断增加。随着中国电子工业的快速发展，高纯氨需求量急增。目前行业内的生产方法，步骤繁琐，频繁使用高温、高压等生产条件，对安全生产极为不利，产品纯度也达不到一定要求，转换率低...
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