技术编号:3459131
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于冶金工业轻金属冶炼中金属硅精炼技术,涉及一种超纯硅的制备方法和装置,尤其是涉及一种以金属硅为原料,通过一系列除去杂质的工序作业来制备超纯硅的生产技术。背景技术 硅业界的人们非常注重硅的纯度,同其他高纯度物质一样,通常以9的个数值来表示硅的纯度档次,4个9(简称4N)纯度的硅为高纯硅,6个9(简称6N)纯度的硅为超纯硅,9个9(简称9N)以上纯度的硅为超高纯硅。金属硅的硅含量纯度为98--99%,是以氧化硅为原料采用碳和热还原法大量地生产的,这种方...
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