技术编号:3461292
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 氮化铝(AlN)常见的制备方法有直接氮化法、碳热还原法、气相沉积法和自蔓延燃烧合成法等方法。其中,自蔓延燃烧合成法近年来得到了迅速发展,它充分利用了铝粉直接氮化为强放热反应的特点,将铝粉于氮气中点燃后,利用Al与N2之间的化学反应产生的热量促使反应以燃烧波的形式自动蔓延下去,形成AlN。反应是基于反应式,反应温度一般在800~1200℃之间;金属铝660℃时熔化,约800℃时开始与N2反应;AlN约2200℃开始分解,高于此温度,上述反应的逆反应...
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