一种高硬度低摩擦的滑块的制作方法技术资料下载

技术编号:34619

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专利摘要一种高硬度低摩擦的滑块,包括有本体,所述本体的上平面设有通气槽,下平面设有与活塞杆接触的活塞杆安装槽,该活塞杆安装槽内间隔地设有弹簧安装孔,所述本体的表面设有具有高硬度和低摩擦系数的NbN/WS2多层涂层,该NbN/WS2多层涂层由多个NbN纳米层和WS2纳米层一一交替叠加而成;所述NbN/WS2多层涂层是采用多靶磁控溅射法在所述滑块的本体上交替溅镀而形成的,其总厚度为3.0~8.0μm,每一NbN纳米层的厚度为6.0~8.0nm,每一WS2纳米层的厚度为0.7~2.1nm。本实用新型具有优异的耐磨性和减摩...
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