技术编号:3464812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光催化剂金属化合物薄膜,特别是涉及在低温条件下快速成膜而形成的具有晶体构造的。背景技术氧化钛膜具有光催化功能,是发挥抗菌、防臭、防污、亲水性等优异功能的物质,特别是亲水性薄膜被广泛用于汽车用后视镜、设置于道路上的镜子、大厦的外壁建材等。将该氧化钛用作光催化剂材料时,通常需要将其固定化在某些基体材料的表面上,以薄膜状使用,因此采用在所有基体材料表面上均强力密合的溅射技术。现有的溅射技术中主要采用反应性溅射,使用钛金属靶,导入氩气和氧气从而形成氧化钛...
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