技术编号：3465283
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将四氯硅烷转换为三氯硅烷的。 背景技术作为用来制造硅(Si)的原料而使用的三氯硅烷(SiHCl3)可以通过使四氯硅烷 (SiCl4 四氯化硅)与氢反应转换来制造。S卩，硅通过基于以下的反应式(1) (2)的三氯硅烷的还原反应和热分解反应生成。 三氯硅烷通过基于以下的反应式(3)的转换反应生成。SiHCl3+H2 — Si+3HC1 ......(1)4SiHCl3 — Si+3SiCl4+2H2 ......(2)SiCl4+H2 — SiHCl...
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