技术编号:3465353
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将四氯化硅转换为三氯硅烷的。 背景技术作为用于制造硅(Si 硅)的原料而使用的三氯硅烷(SiHCl3)能够通过使四氯化硅 (SiCl4 四氯化硅)与氢反应进行转换来制造。S卩,硅通过根据以下的反应式(1) (2)的三氯硅烷的还原反应和热分解反应而生成。三氯硅烷通过根据以下的反应式(3)的转换反应而生成。作为制造三氯硅烷的装置,例如在专利文献1,2中,提出了一种反应室被做成具有通过同心配置的两根管形成的外室和内室的二重室设计,在该反应室的外侧的周围...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。