技术编号:3465370
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将四氯化硅转换成三氯硅烷的三氯硅烷制造装置。 背景技术作为用于制造硅(Si 硅)的原料而使用的三氯硅烷(SiHC13)能够通过使四氯化硅(SiC14 四氯化硅)和氢气反应并进行转换来制造。S卩,通过基于以下反应式(1)、(2)的三氯硅烷的还原反应和热解反应生成硅。三氯硅烷通过基于以下反应式(3)的转换反应生成。SiHC13+H2 — Si+3HC1. . . (1)4SiHC13 — Si+3SiC14+2H2. . . (2)SiC14+H...
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