技术编号：3465490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有锥形或金字塔形尖端的石墨电极，所述尖端在其侧面由隆起边缘围绕。背景技术石墨电极用于许多不同工业应用中。这些工业应用的实施例为铝生产和钢铁生产、熔盐电解、化合物的电解分解、热沉积反应、电弧焊、量具以及许多其他应用。一种重要应用是西门子工艺多晶硅沉积，其中高纯度单质硅(elementary silicon)由气相沉积到硅棒表面上。在这种情况下，单质硅从气相的氢和卤硅烷的混合物或含氢硅化物沉积到在沉积反应器中加热到900°C -1200°C的细硅棒...
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