技术编号:3465885
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超高纯氨纯化装置的含氨废气的处理方法,具体涉及超纯氨纯化装置的废气处理装置及处理方法。背景技术氨不仅是一种非常重要的工业基础材料,还被广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器IXD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。普通的一级品工业氨(纯度99. 8% )远不能满足光电子行业的需求,氨的纯度必需达到99. 999% (5N)或99. 9999% (6N),甚至99. 99999% (7N)以上。氨中的各种杂质必需控制在ppm、ppb甚...
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