技术编号:3465902
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,具体涉及一种将锗烷生产系统的尾气加热,使其中所含微量锗烷受热分解,然后收集分解形成的金属锗粉,实现尾气达标排放和锗回收的方法。背景技术高纯锗烷是一种重要的半导体工业用原料气体,已逐步应用于金属有机化合物气相外延(M0VPE),用于制备含锗半导体材料或器件,如锗硅薄膜太阳能电池。锗烷的制造方法有以下几类锗合金与酸或氨水解法;二氧化锗的碱性溶液电解法;锗盐或锗的氧化物的还原法。上述方法生产锗烷均会产生副产物氢气,因此锗烷生产系统尾气主要成分为氢气,...
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