技术编号:3465999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种夹持装置,具体地说涉及多晶硅还原炉硅芯夹持装置,属于多晶硅生产。背景技术高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,随着信息技术和太阳能产业的飞速发展,全球对多晶硅的需求增长迅猛,市场供不应求。目前,国际上多晶硅生产技术70%以上使用的是改良西门子法。改良西门子法生产多晶硅主要是采用高纯三氯氢硅和高纯氢按照一定的配比混合在一起构成原料混合气体,通入还原炉反应器中,在加热电极上的硅芯表面被加热至1100°C左右,三氯氢硅和氢气发生还原反应,...
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