技术编号:3466110
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到多晶硅生产装置,具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置,属于多晶硅生产。背景技术多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,随着信息技术和太阳能产业的飞速发展,全球对多晶硅的需求增长迅猛,市场供不应求。多晶硅(P-Si)是单质硅的一种形态,是由许多硅原子及许多小的晶粒组合而成的硅晶体,按纯度分类可以分为冶金级多晶硅、太阳能级和电子级多晶硅。其中太阳级能多晶硅硅产品纯度在99. 99 99. 9999% (4到6个9),电子级多晶硅产品纯度达99....
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