技术编号:3466262
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产,特别是西门子法生产多晶硅的一种节能大型多晶硅还原炉;涉及一种42对棒的新型多晶硅还原炉及连接方式。背景介绍目前国内外多晶硅生产企业主要采用“改良西门子法”。该方法的生产流程是利用氯气和氢气合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和硅粉在一定温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅精馏提纯,提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按比例混合后,在一定的温度和压力下通入多晶硅还原炉内,在通电高温硅棒上进行气相沉积反应生成多晶硅。目前“西门子改良法“的生产设备主要包...
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