技术编号:3466390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,主要是用三氯氢硅和氢气在高温加热环境中,在发热体表面进行还原反应,熔融析出高纯液态多晶硅,析出的液态多晶硅滴入坩埚中,坩埚中的多晶硅达到规定的量后,通过高温熔化、定向凝固后,直接生产出合格的多晶硅锭,该生产装置能够直接生产出合格的多晶硅锭产品,减少由多晶硅产品到多晶硅铸锭产品之间的生产环节,减少电量消耗,提高生产效率,降低生产成本。背景技术多晶硅生产环节多晶硅是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品,是制造单晶硅、太阳能电池及高纯硅制品的主...
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