技术编号:3466815
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种。 背景技术多晶硅(简写为“多晶硅”)作为通过坩埚提拉法(Czochralski或CZ法)或通过区熔法(浮区法或FZ法)生产单晶硅的起始物料。经过多种机械的、化学的及化学机械加工操作后,将这种单晶硅分割为晶片,用在半导体工业中,用于生产电子元件(芯片)。然而,更具体的是,通过提拉或浇铸工艺生产单或多晶硅对多晶硅的需求程度日趋增加,这种单或多晶硅用来制造光伏太阳能电池。多晶硅通常也简称“多晶硅”,通常通过西门子法生产。这种方法包括通过在钟形反...
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