技术编号:3466845
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体加热领域,特别涉及一种用于加热氢气或者四氯化硅的钟罩式加热炉。背景技术随着世界能源危机的日益加剧和环境保护的要求越来越严,世界各国都努力发展可再生能源和清洁能源,其中太阳能是应用前景最广阔的新能源,其原材料多晶硅目前广泛采用的是改良西门子法生产工艺,但该工艺会产生大量副产物四氯化硅,如得不到有效的综合处理和应用,会对环境造成严重污染。在现行的几种四氯化硅处理工艺中,冷氢化技术能耗低、单台装置处理能力大,投资少,成本低的特点决定了它将逐步成为主...
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