技术编号:3466953
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石墨制备,具体涉及一种用原子层沉积设备制备石墨的方法。背景技术石墨是碳的最常见单质,它以SP2杂化通过共价键的方式形成平面结构石墨烯,石墨烯在垂直方向上的垛叠形成石墨。由于每个碳原子均会提供一个可以自由移动的电子, 因此石墨的导电性强,类似于金属。而且它是一种最软的物质,常用作润滑剂。由于石墨很常见,因此很多碳的同素异形体都曾考虑过通过石墨来制备,比如,石墨烯的发现就是通过不断的分解石墨得到的,石墨的人工合成早在上个世纪中期就通过高温高压处理石墨...
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