技术编号：3467012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种空气分离方法，具体是。 背景技术高纯氧(含氧量> 99. 999%v/v ；采用GB/T14599-2008中术语)是人们通过多种工艺方法从化合物或混合物中分离提纯获得的液态或气态的空气，现在广泛应用于集成电路和半导体器件的生产、光电行业、标准混合气的配制、科学研究等领域。工业化批量生产高纯氧，目前主要通过以下三条途径实现(一)水电解+化学方法；(二)变压吸附 +化学方法；(三)低温精馏方法。其中(一)、(二)两种方法其工艺过程均为气态...
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