技术编号:3467142
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产领域,具体地,涉及用于处理含有四氯化硅的溶液的设备。 背景技术在多晶硅生产过程中,会产生大量四氯化硅副产物。例如,采用三氯氢硅氢还原工艺(改良西门子工艺)生产多晶硅时,每生产1吨多晶硅会产生15吨四氯化硅副产物。目前,处理四氯化硅的常规方法是采用冷氢化技术将四氯化硅转化为生产多晶硅的原料三氯氢硅,从而将四氯化硅循环利用。然而,在此处理工艺中,10-20%的四氯化硅由于含有大量固体粉尘(如硅粉)和金属杂质(如铝、铁、镍等)而成为四氯化硅残...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。