技术编号:3467702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种高纯硫酸生产方法及其装置,特别是指一种以普通工业硫酸生产工艺中经一次转化后产生的三氧化硫/ 二氧化硫混合气体(行业内俗称一吸气)作原料,经催化氧化、洗涤、吸附、过滤和吸收等过程生产高纯硫酸的方法及其装置。背景技术高纯硫酸是化学纯硫酸、分析纯硫酸、优级纯硫酸和高纯超净电子级硫酸的统称。 高纯硫酸用于半导体硅晶片的湿法清洗、蚀刻,超高集成电路(IC)、印刷电路板的腐蚀剂, 精密制造金属元器件的电镀清洗,是现代电子制造工业的关键性基础化工材料之一,...
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