技术编号：3469288
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅领域，尤其是一种生产多晶硅的氪化炉。 背景技术多晶硅生产中会产生大量的副产物，每生产1 kg多晶硅会产生 15 kg的 SiC14,其处理的办法一般有冷氬化、生产硅酸乙酯、气相白碳黑、外卖处理， 这几种方法春在生产成本高、反应危险性大、工艺复杂不稳定、环保无法处理 的难题，这对于多晶硅工厂节能降耗，取得经济效益和社会效益是一大瓶颈。 原有的传统俄罗斯SiC14热氢化炉的结构是由炉筒、整板式底盘和上封头构成， 炉筒上有冷却水出口、冷却水腔...
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