技术编号:3469655
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及纳米颗粒,特别涉及使用等离子反应器生产IV族元素半导体 纳米颗粒。背景技术由于在生物医学、光学和电子领域中的各种潜在应用,纳米颗粒研究目前是广泛 科学研究的领域。特别地,半导体纳米颗粒(如硅纳米颗粒)由于它们在光伏电池、光致发 光类器件、掺杂电致发光光发射器、存储器件和其它微电子器件(例如二极管和晶体管)中 的潜在用途而使人特别感兴趣。产生IV族元素半导体纳米颗粒的常用方法包括激光热解、激光烧蚀、蒸发、气体 放电离解和等离子。不幸的是,目前...
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