技术编号：3469803
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 一 种用于降低工业纯的卣代硅烷中的周期表第三主族元素(优选硼和/或铝)的含量的方法，以制备经純化的卣代硅烷，特别是超高纯的氯硅烷。此外本发明还涉及 一 种用于实施该方法的装置(Anlage )。背景技术从现有技术已知两种用于纯化面代硅烷的方法，这些方法均基于使用与其它配合剂(Komplexbildner)组合(in Verbindung mit)的三苯基氯曱烷(Triphenylmethylchlorid )。其一是GB 975000的多阶段方...
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