技术编号:3469887
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氢气(H2)的制备工艺,特别涉及一种利用甲醇裂解法制备高纯度氢气为原料,进行二次纯化制备超纯度氢的方法。 背景技术随着科学技术水平的日益提高,各种技术、设备、仪器仪表对高性能、高灵敏度的电 子元件依赖性加强,而在电子元件制作过程,特别是半导体器件生产中,材料纯度是其关 键,对原材料纯度不断提出更高的要求。氢气是在半导体电子元件制造中不可缺的还原性 气体和保护气体,因此对符合电子生产要求纯度的氢气需求不断增加,且不能满足供应。必须提供超高纯度的...
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